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瑞士VAT閥25.2 高真空鋼瓶閥(三/雙向型)

簡(jiǎn)要描述:瑞士VAT閥25.2 高真空鋼瓶閥(三/雙向型)
25.2 高真空鋼瓶閥系列旨在用于包含攜帶腐蝕性物質(zhì)和粒子的氣體的惡劣工藝環(huán)境中,例如次晶圓廠(chǎng)工藝。該系列有角度 (25.0)、串聯(lián) (25.1) 和 3向2通路設(shè)計(jì) (25.2) 可供選擇,每個(gè)版本均采用最大電導(dǎo)率。

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  • 廠(chǎng)家實(shí)力

    Manufacturer Strength
  • 有效保修

    Valid Warranty
  • 質(zhì)量保障

    Quality Assurance

詳細(xì)介紹

瑞士VAT閥25.2 高真空鋼瓶閥(三/雙向型)

任何條件下都能提供可靠的隔離25.2 高真空鋼瓶閥系列旨在用于包含攜帶腐蝕性物質(zhì)和粒子的氣體的惡劣工藝環(huán)境中,例如次晶圓廠(chǎng)工藝。該系列有角度 (25.0)、串聯(lián) (25.1) 和 3向2通路設(shè)計(jì) (25.2) 可供選擇,每個(gè)版本均采用最大電導(dǎo)率。

為提供耐用性和較長(zhǎng)的正常運(yùn)行時(shí)間,25.2 高真空鋼瓶閥系列具有密封保護(hù)系統(tǒng),兼具鋼瓶設(shè)計(jì)的高流導(dǎo)和更長(zhǎng)的密封壽命等優(yōu)勢(shì)。該密封保護(hù)系統(tǒng)通過(guò)鋼瓶?jī)A斜-轉(zhuǎn)動(dòng)-傾斜的動(dòng)作工作,在該動(dòng)作中,鋼瓶會(huì)通過(guò)提起動(dòng)作移除閥座上的閘封,以避免任何摩擦、密封磨損以及粒子的生成。在全開(kāi)啟(90° 旋轉(zhuǎn)后)的情況下,傾斜-轉(zhuǎn)動(dòng)-傾斜的動(dòng)作還會(huì)將密封件輕柔地壓向閥體,防止密封件接觸氣流中可能存在的磨蝕粒子。斷電時(shí),閥體機(jī)構(gòu)將被鎖定在打開(kāi)或關(guān)閉位置,維持閥體最后的位置。

25.2 高真空鋼瓶閥系列已經(jīng)安裝在數(shù)千個(gè)各種工藝條件下的要求苛刻的應(yīng)用中,證明了其可靠性。

25.2 高真空鋼瓶閥為氣動(dòng)型,帶有作為外部安裝配件的電磁閥。閥門(mén)位置通過(guò) LED 燈(10-30?VDC,5-100?mA)指示。

法蘭連接器的標(biāo)準(zhǔn)選項(xiàng)為 ISO-KF 和 ISO-KF“羊角型"。標(biāo)準(zhǔn)閥板密封采用氟橡膠。可集成客戶(hù)法蘭以及特殊功能,例如加熱筒、其他密封材料或不銹鋼類(lèi)型。

瑞士VAT閥25.2 高真空鋼瓶閥(三/雙向型)

25.2 高真空鋼瓶閥的主要特點(diǎn)

  • 適用于惡劣環(huán)境,設(shè)計(jì)可靠、成熟

  • 傾斜-旋轉(zhuǎn)-傾斜機(jī)制,保護(hù)密封

  • 最大流導(dǎo)

優(yōu)勢(shì):

  • 性能可靠

  • 維護(hù)量少,可輕松維護(hù)

  • 擁有成本較低

  • 瑞士VAT閥25.2 高真空鋼瓶閥(三/雙向型)

技術(shù)數(shù)據(jù)
尺寸(DN)
16 mm (?")
25 mm (1")
40 mm (1?’’)
驅(qū)動(dòng)器
氣動(dòng),雙作用
機(jī)體材料
標(biāo)準(zhǔn)法蘭
ISO-KF
ISO-KF "爪子"
泄漏率
閥體
< 1 x 10-9 mbar ls-1
閥座
< 1 x 10-9 mbar ls-1
壓力范圍
1 × 10-8 mbar 至 3 bar (abs)
閘門(mén)上的壓差
在關(guān)閉的方向
≤ 1.2 bar
在打開(kāi)的方向
≤ 3.0 bar
打開(kāi)時(shí)的壓差
≤ 1.2 bar
循環(huán)直到第一次維修
100 000
溫度
閥體
≤ 120°C
驅(qū)動(dòng)器
≤ 120°C
位置指示器
≤ 80 °C
材料
閥體
EN AW-6060 (3.3206)
EN AW-6082 (3.2315)
閘門(mén)
EN AW-6082 (3.2315)
法蘭
EN AW-6082 (3.2315)
AISI 316L (1.4435)
閘門(mén)
帶有Ni-PTFE涂層的A4-80
密封
閥蓋
FKM
閘門(mén)
FKM
饋通件
FKM
饋通件
旋轉(zhuǎn)式饋通件
安裝位置
任何
位置指示器:接觸等級(jí)
閥體
≤ 10 – 30 VDC
目前
5 – 100 mA
閘閥位置顯示器
LED



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